Technische Daten
o Beschleunigungsspannungen: 5, 10, 15, 20, 30 kV
o Elektronenquelle: Wolfram-Kathode
o Detektoren: SE, BSE, EDX
o Vergößerung: 30 – 100.000 fach
o Max. Auflösung: 5 nm (30 kV, SE)
o Arbeitsabstand: 8 – 20 mm
o Max. Probengröße: 80 mm Ø, H = 35 mm
o EDX Detektor: Bruker Flash 630 M
o Auflösung: < 133 eV (MnKα)
o Mapping: 4000 x 4000 Pixel
o Cooling/heating: -25°C – 50°C bei 300 Pa
Software
o Quantax Esprit 2.0
Hirox SH 5000