Messung des totalen Energieeintrags:
o Kalorimetrie nach Gardon
o Rückseitige Strahlungsmessung der Aufheizung der Sensorfläche
o Externe Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms Etot mit Energie-(Strahlungs-)quelle oder interne Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms mittels des Prozessplasmas
o Energieflussbereich: ca. 5 mW/cm2 bis 800 mW/cm2
o Potential an der Frontelektrode im Bereich -100 V bis +50 V frei wählbar (einstellbarer Ionen- bzw. Elektronenstrom)
Messung der Massenbelegung:
o mittels Frequenzänderung eines Schwingquarzes
o Bestimmung von Abscheiderate R und momentaner Schichtdicke d
o Geeignet für Schichtabscheidung und Schichtätzen
o Verwendung kommerzieller Standardschwingquarze (ø 14 mm, f0 = 6 MHz)
Messung mit planarer Langmuir-Sonde:
o Messung der Strom-Spannungs-Charakteristik an der Frontelektrode des Schwingquarzes (Spannungsbereich -100 V bis +50 V, max. Stromstärke 100 mA)
o Bestimmung der Plasmaparameter Floating- Ufloat und Plasmapotential UPlasma, Elektronentemperatur Te sowie Elektronen- ne und Ionendichte ni mittels LabView basierte Auswertesoftware
o Die Kombination mit der Rate R ermöglicht die Bestimmung des Energieeintrages pro schichtbildendem Teilchen Pein / Jneutral und des Ionen- zu Neutralteilchenverhältnis jIon / jneutral
o Strommessung bei festem Potential