Messtechnik: Elektrisch

Messung elektrischer Eigenschaften:

o U/I-Kennlinienmessung im Bereich 1 µV – 100 V, 1 pA – 100 mA mittels 4-Spitzen zur Bestimmung von Flächen- und spezifischen Kontaktwiderständen auch an mikrostrukturierten Kontakten in linearer und van-der-Pauw-Geometrie
o CV-Messungen im Bereich von fF bis nF

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4 frei bewegliche Kontakte zur Vermessung beliebiger Strukturen

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EP6 von Süss MicroTec