Spektrophotometrische Messungen
o von Transmission, absoluter Reflexion und Absorption mit: UV-VIS-2-Strahlspektrometer Varian Cary 5E: 200 nm – 3200 nm | Vakuum-FTIR-Spektrometer Bruker Vertex 70V: 8000 cm-1 – 8 cm-1, max. Auflösung 0,16 cm-1
o Bestimmung der optischen Konstanten n(λ), k(λ) aus T(λ), R(λ)
o Probengeometrie 10 mm x 10 mm – 30 mm x 30 mm (bei Messungen im Randbereich auch größere Abmessungen möglich)
o Für flüssige Proben ist eine Küvettenhalterung vorhanden
o ATR (Diamant), λ < 19 µm = WZ > 525 cm-1
Varian Cary 5E
Bruker Vertex 70v
Sentech SE850
Ellipsometrische Messungen:
o Wellenlängenbereich 0,28 µm – 2,4 µm
o Mehrwinkelmessungen in 5° Schritten von 40° – 90°
o Bestimmung optischer Konstanten n(λ), k(λ) aus ∆(λ), Ψ(λ)
o Dickenbestimmung transparenter Schichten einzelner Nanometer