Messungen von Oberflächenprofilen mit BRUKER Dektak XT

Oberflächenprofilbestimmung und Schichtdickenmessung mit Stylusprofilometer durch Stufenhöhenmessung 10 nm ≤ 1 mm

o Max. lat. Verfahrweg 55 mm (mit Stitching 200 mm)
o Aufsetzkraft Stylus 0,03 mg – 15 mg
o 3D-Oberflächenprofile
o Rauhigkeitsanalyse
o Durchbiegungsmessung, 2D Stressanalyse