Technische Daten
o Anlage DTF – FLA100
o Bestrahlungsfläche 100 mm (4“)
o Energiedichten (0,1 – 22) J/cm²
o Impulslänge: (0,4 – 3) ms
o Xe-Blitzlampen Spektrum: UV-VIS-NIR
DTF FLA100
Vakuumkammer und Lampengehäuse der FLA100
Anwendungen
o Realisierung von flachen Dotierungsprofilen
o Temperprozess für temperaturempfindliche Bauteile und Substrate