Blitzlampenausheilen

Mittels FLA (Flash Lamp Annealing) ist es möglich, Wärmeenergie in extrem kurzen Pulszeiten (µs bis ms) in Festkörpersysteme einzubringen.
In Abhängigkeit von der Zeitdauer und der Energiedichte des Pulses kann der Wärmeenergieeintrag gezielt gesteuert werden.

Technische Daten

o Anlage DTF – FLA100
o Bestrahlungsfläche 100 mm (4“)
o Energiedichten (0,1 – 22) J/cm²
o Impulslänge: (0,4 – 3) ms
o Xe-Blitzlampen Spektrum: UV-VIS-NIR

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DTF FLA100

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Vakuumkammer und Lampengehäuse der FLA100

Anwendungen

o Realisierung von flachen Dotierungsprofilen
o Temperprozess für temperaturempfindliche Bauteile und Substrate