Messung mechanischer Eigenschaften:
Dynamische Mikrohärtemessungen mit SHIMADZU DUH-200:
- Indenterform: dreiseitige Pyramide (Spitzenwinkel 115°)
- Prüfkraft 0,098 mN - 1960 mN
- Eindrucktiefe messbar in 0,01 µm Schritten bis max. 10 µm
- min. Schichtdicke 1 µm
- an dicken Schichten im µm-Bereich (Abzug und Abriss)
- an dünnen Schichten im 0,01 - 0,1 µm-Bereich (Kratzen)
Messungen von Oberflächenprofilen
Oberflächenprofilbestimmung und Schichtdickenmessung durch
Stufenhöhenmessung10nm ≤ 10µm
 Haftfestigkeitsmessung von Platin bzw. Platin mit Haftvermittler Chrom auf Glas |
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