Messung elektrischer Eigenschaften
- U/I-Kennlinienmessung im Bereich 1µV - 100V 1 pA - 100 mA mittels
4-Spitzen zur Bestimmung von Flächen- und spezifischen Kontaktwiderständen
auch an mikrostrukturierten Kontakten in linearer und van-der-Pauw-Geometrie - CV-Messungen im Bereich von fF bis nF